1208 多孔質真空チャックの垂直方向把持特性に関する研究(ねじ及び締結・把持要素の特性,一般講演)
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概要
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In recent years, vacuum chucks have been usually used in various devices to hold manufactured products and carry them. It is said that a vacuum chuck utilizing porous material has an advantage that the flatness of an object held by this chuck is superior to that by other types of vacuum chucks. However, there are few published papers that the detailed holding characteristics of a porous vacuum chuck are clarified. In this paper, the holding characteristics of the porous vacuum chuck are investigated numerically and experimentally.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2008-04-20
著者
-
宮武 正明
東京理科大学工学部
-
吉本 成香
東京理科大学工学部
-
吉本 成香
東理大
-
鳥羽 啓太
東京理科大学大学院工学研究科
-
鳥羽 啓太
東京理科大学
-
吉本 成香
東京理科大学
-
宮武 正明
東京理科大学
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