静圧空気スラスト軸受のガイドウェイにおけるローリングの静的角度変位特性 -三次元測定機用倣い測定プローブの場合-

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概要

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• 1995-09-01

著者

• 吉本 成香

  東京理科大学工学部

• 中村 哲夫

  (株)ミツトヨ計測学院

• 中村 哲夫

  ミツトヨ

• 吉本 成香

  東京理科大学

• 中村 哲夫

  (株)ミツトヨつくば研究所

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