サブミクロンの軸受すきまで動作する静圧気体スラスト軸受 : 静的特性
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概要
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This paper proposes a new type of aerostatic thrust bearing in order to achieve the maximum stiffness, about ten times as large as that of a conventional bearing. The proposed aerostatic bearing can operate in a bearing clearance of less than 1μm. In this bearing, the porous restrictor with 1-3mm diameter is employed instead of a conventional feeding hole to restrict the air flow through the restrictor to a very small amount. Here, the static characteristics of the proposed bearing are investigated theoretically and experimentally. It is consequently shown that the proposed bearing is very useful for achieving a very high stiffness and miniaturizing the bearing.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-12-05
著者
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