真空レーザ干渉計搭載1.6m超高精度測長機の開発
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2003-06-05
著者
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境 久嘉
(株)ミツトヨ
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前田 不二雄
(株)ミツトヨ川崎研究開発センタセンサ技術開発部
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猿木 義雄
(株)ミツトヨ川崎研究開発センタ商品開発部
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青柳 信一郎
(株)ミツトヨ宇都宮事業所マイクロコード工場設計二課
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久保 哲彦
(株)ミツトヨ宇都宮事業所清原工場生産技術課
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猿木 義雄
(株)ミツトヨ
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