MD法によるDLC薄膜の機械的特性の評価 : 圧子押込み特性の解析による硬さの評価
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1997-12-05
著者
-
上田 隆司
金沢大学工学部
-
舟田 義則
石川県工業試験場
-
山田 啓司
金沢大学工学部
-
粟津 薫
石川県工業試験場
-
杉田 忠彰
金沢大学
-
杉田 忠彰
金沢大学工学部
-
舟田 義則
Industrial Research Institute of Ishikawa
-
上野 康晴
金沢大学大学院
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