圧子押込み特性の解析による超硬質薄膜の硬さ評価
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
舟田 義則
石川県工業試験場
-
粟津 薫
石川県工業試験場
-
西 誠
金工大
-
杉田 忠彰
金沢大学
-
杉田 忠彰
金沢大学工学部
-
舟田 義則
Industrial Research Institute of Ishikawa
-
西 誠
金沢大学工学部
-
加藤 昌
金沢大学大学院
-
加藤 昌
金沢大学大学院:(現)(株)東芝
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