半導体レーザによる超薄板の微細接合
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概要
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High power direct diode laser systems have an excellent advantage of high conversion efficiency. They have another advantage of an elliptical beam shape. This characteristic makes good welding feature for thin foil welding. In this paper, advantage of elliptical shape beam of high power direct diode laser and its application to thin foil welding in the microelectronics or micromechanical parts manufacturing.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2008-05-01
著者
-
阿部 信行
大阪大学接合科学研究所
-
舟田 義則
石川県工業試験場
-
阿部 信行
大阪大学 接合科学研究所スマートプロセス研究センター
-
舟田 義則
Industrial Research Institute of Ishikawa
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