アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究(第2報) : 除去速度と微小うねりに及ぼすポリシング条件の影響
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1994-11-05
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