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松永 竜二 | 熊本大学大学院
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安井 平司
熊本大学工学部
佐藤 郁
九州松下電器(株)
佐藤 郁
熊本大学大学院
松永 竜二
熊本大学大学院
鈴木 幸雄
熊本大学大学院
小林 深
九州松下電器(株)
著作論文
アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究(第1報) : 除去機構とポリシング特性に及ぼすポリシャの種類の影響
アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究(第2報) : 除去速度と微小うねりに及ぼすポリシング条件の影響
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