パルスレーザ加工の音響法による観察
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概要
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Acoustic emission generated in pulsed ruby laser drilling of alumina was detected by piezoelectric transducer and microphone ; moreover, stress wave in glass plate generated by deposition of vaporized material and molten particles was detected. Traces of generated waves and laser radiation were compared with one another. The workpiece is forced to vibrate by each spike of the laser radiation. The amplitude of vibration does not vary with the variation in spike power. The initial occurrence of the material removal and the ratio of the quantity of molten removal to that of vaporized removal are determined. It is also shown that detecting the stress wave amplitude of the workpiece can be utilized for determining the focussing condition of laser beam.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1985-03-05
著者
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