レーザ干渉及び工学的フィーラによるねじリードの自動測定
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概要
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本研究では、工具顕微鏡とフォトダイオードを用い高精度で位置検出のできる光学的なフィーラを新しく考案・試作し、レーザ干渉ねじリード測定機に応用し、非接触で累積ピッチ誤差の測定及び酔歩誤差を含むリード誤差の測定を可能にした。この装置の測定精度を調べるために、二、三の因子を変えて実験を行い次の結果が得られた。1)この装置は接触型のフィーラでは測定困難であった直径やピッチの小さなねじの測定を行うことができる。2)また直径やピッチの大きなねじの測定も可能である。3)測定の精度は、標準偏差で、繰返し性に対し0.2μm、反復性に対し0.8μmである。
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1981-04-05
著者
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