<論文>低濃度化学種の分析装置 : 分子線質量分析計
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概要
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化学反応ガス中の不安定なラジカル類を定量分析する目的で分子線サンプリング法を用いた質量分析計,すなわち,分子線質量分析計を作成した.本装置は3段差動排気することにより,各室が所定の真空度に到達するようになっている.質量分析計としては四重極型質量分析計が使用されている.微量成分の分析を可能にするため,チョッパーにより分子線は変調され,分析計からの微小信号出力のS/N比が向上させられるよう処理する信号処理装置を備えている.安定な化学種であるArを用いての測定で,8 ppm の濃度まで検出出来た.
- 宇宙航空研究開発機構の論文
著者
-
小竹 進
東京大学宇宙航空研究所
-
小竹 進
東京大学工学部
-
倉谷 健治
東京大学宇宙航空研究所
-
倉谷 健治
宇宙科学研究所
-
佐野 妙子
東京大学宇宙航空研究所
-
山下 雅道
東京大学宇宙航空研究所
-
佐野 妙子
東海大学産研
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