アークイオンプレーティング法によるITO膜の内部応力に及ぼす結晶化の影響
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概要
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- 2012-04-01
著者
-
齋藤 永宏
名古屋大学大学院工学研究科
-
高井 治
名古屋大学大学院工学研究科
-
小島 啓安
(有)アーステック
-
高井 治
名古屋大 大学院工学研究科
-
高井 治
名大 理工総研
-
高井 治
名古屋大学
-
齋藤 永宏
名古屋大学 エコトピア科学研究所
-
齋藤 永宏
名古屋大学
-
高井 治
名古屋大学エコトピア科学研究所
-
高井 治
名古屋大学工学部
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