反応性プラズマ中の斜め堆積による微絨毛構造状窒化物薄膜の形成
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概要
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Glancing-angle deposition method was successfully applied in three reactive plasma processes (reactive ion plating, reactive sputtering and reactive evaporation) in order to fabricate indium-nitride films with microvillus-like isolated nanocolumnar structures. We found that the shape controllability of the isolated nanocolumns could partly be ascribed to the preferred orientation of the crystalline nanocolumns. The microvillus-like structures made the electrochromic color change of the indium-nitride films much larger.
- 日本真空協会の論文
- 2009-04-20
著者
-
高井 治
名古屋大学大学院工学研究科
-
高井 治
名古屋大 大学院工学研究科
-
高井 治
名大 理工総研
-
高井 治
名古屋大学
-
井上 泰志
名古屋大学エコトピア科学研究所
-
井上 秦志
名古屋大学
-
高井 治
名古屋大学エコトピア科学研究所
-
高井 治
名古屋大学工学部
-
井上 泰志
名古屋大学 エコトピア科学研究所
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