イオン化蒸着法にすリ作製したDLC薄膜のナノインデンテーション硬さと構造に及ぼす成膜条件の影響
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概要
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- 社団法人表面技術協会の論文
- 2003-08-01
著者
-
高井 治
名古屋大学大学院工学研究科
-
高井 治
名古屋大学 理工科学総合研究センター
-
高井 治
名古屋大学
-
真野 毅
静岡県富士工業技術センター
-
渋谷 佳男
静岡県富士工業技術センター
-
杉山 治
静岡県富士工業技術センター
-
中山 洋
静岡県富士工業技術センター
-
杉山 治
静岡県静岡工業技術センタ
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