Cu超微細配線構造の安定性に及ぼす結晶方位の影響
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概要
著者
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大貫 仁
茨城大学工学部
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大貫 仁
茨城大学工学部マテリアル工学科
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篠嶋 妥
茨城大学工学部物質工学科
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永井 傑朗
茨城大学大学院理工学研究科
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赤羽 智明
茨城大学大学院理工学研究科
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篠嶋 妥
茨城大学工学部マテリアル工学科
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