大貫 仁 | 茨城大学工学部マテリアル工学科

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概要

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関連著者

• 大貫 仁

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 大貫 仁

  茨城大学工学部

• 田代 優

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 伊藤 雅彦

  茨城大学大学院理工学研究科

• 門田 裕行

  日立協和エンジニアリング株式会社デバイスシステムセンタ

• 一色 実

  東北大多元研

• 一色 実

  東北大工

• 篠嶋 妥

  茨城大学工学部物質工学科

• 大貫 仁

  茨城大学大学院理工学研究科

• 門田 裕行

  茨城大学大学院理工学研究科

• 菅野 龍一

  日立協和エンジニアリング株式会社デバイスシステムセンター

• 一色 実

  東北大選研

• Isshiki Minoru

  Inst. Of Multidisciplinary Res. For Advanced Materials Tohoku Univ.

• 打越 雅仁

  東北大多元研

• 篠嶋 妥

  茨城大学

• 篠嶋 妥

  茨城大工

• 三村 耕司

  東北大学多元物質科学研究所

• 一色 実

  東北大学多元物質科学研究所

• 一色 実

  東北大学 多元物質科学研究所

• 永井 傑朗

  茨城大学大学院理工学研究科

• 赤羽 智明

  茨城大学大学院理工学研究科

• 影山 順平

  茨城大院

• 市村 稔

  茨城大院

• 大貫 仁

  茨城大院

• 打越 雅仁

  東北大学多元物質科学研究所

• 篠嶋 妥

  茨城大

• 篠嶋 妥

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 大貫 仁

  茨城大学

• Khoo Khyoupin

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 伊藤 雅彦

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 玉橋 邦裕

  茨城大学

• 一色 実

  東北大学

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著作論文

• Cu超微細配線構造の安定性に及ぼす結晶方位の影響
• アルミニウム薄膜における粒成長のフェーズフィールドシミュレーション
• 三次元実装用貫通電極の高速めっき技術
• 超微細Cu配線の微細構造と抵抗率に及ぼす硫酸銅純度の影響
• 超高速LSI用低抵抗率Cu配線材料の研究 (特集 材料プロセスにおける分離操作と高純度精製)
• Cu配線の現状と将来 (特集 これだけは知っておきたい最新の配線・実装材料技術)
• 高速流めっき法による短時間Cu貫通電極形成および電極の微細組織
• 高純度めっき材料を用いた低抵抗率Cu配線形成プロセスの8インチウエハによる検証
• 超高速LSI用低抵抗率Cu配線材料の現状と将来 : 高純度めっき技術によるアプローチを中心にして
• 先端半導体デバイス向け高純度銅

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