田代 優 | 茨城大学工学部マテリアル工学科

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概要

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• 同名の論文著者
• 茨城大学工学部マテリアル工学科の論文著者

関連著者

• 大貫 仁

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 田代 優

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 大貫 仁

  茨城大学工学部

• 打越 雅仁

  東北大多元研

• 一色 実

  東北大多元研

• 一色 実

  東北大工

• 三村 耕司

  東北大学多元物質科学研究所

• 一色 実

  東北大学多元物質科学研究所

• 伊藤 雅彦

  茨城大学大学院理工学研究科

• 打越 雅仁

  東北大学多元物質科学研究所

• 一色 実

  東北大選研

• Khoo Khyoupin

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• 門田 裕行

  日立協和エンジニアリング株式会社デバイスシステムセンタ

• 伊藤 雅彦

  茨城大学工学部マテリアル工学科

• Isshiki Minoru

  Inst. Of Multidisciplinary Res. For Advanced Materials Tohoku Univ.

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著作論文

• 超微細Cu配線の微細構造と抵抗率に及ぼす硫酸銅純度の影響
• 超高速LSI用低抵抗率Cu配線材料の研究 (特集 材料プロセスにおける分離操作と高純度精製)
• Cu配線の現状と将来 (特集 これだけは知っておきたい最新の配線・実装材料技術)
• 高純度めっき材料を用いた低抵抗率Cu配線形成プロセスの8インチウエハによる検証

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