集束プロトンビーム描画による微細加工と型加工への応用
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概要
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- 2007-05-20
著者
-
佐藤 隆博
原子力機構高崎量子応用研究所
-
及川 将一
原子力機構高崎量子応用研究所
-
神谷 富裕
原子力機構高崎量子応用研究所
-
吉田 栄治
(株)神戸製鋼所
-
西川 宏之
芝浦工業大学 工学部 電気工学科
-
打矢 直之
芝浦工業大学大学院 工学研究科
-
古田 祐介
芝浦工業大学大学院 工学研究科
-
芳賀 潤二
(独)日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所
-
及川 将一
(独)日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所
-
佐藤 隆博
(独)日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所
-
石井 保行
(独)日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所
-
神谷 富裕
(独)日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所
-
神谷 富祐
日本原子力研究所高崎研究所放射線高度利用センター
-
佐藤 隆博
原子力機構・高崎研
-
石井 保行
原子力機構
-
西川 宏之
芝浦工大 工
-
西川 宏之
芝浦工業大学
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