2A1-G28 集束プロトンビーム描画を利用した微細加エシステムの提案
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概要
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We proposed the micro fabrication system using Proton Beam Writing on behalf of micro chemical chip. The fabrication system utilizes the XY stage control base on 3D-CAD data. The XY stage control enables this system to spread the fabrication area with centimeter order. Moreover, the method of calculating the scan pattern from general CAD data enables this system to fabricate various shapes. The experimental results showed that the fabrication time was able to be shortened and the multiple scanning makes the side wall smooth. This fabrication system using PBW is useful for the micro chemical chip fabrication.
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