集束プロトンビーム描画による微細加工と型加工への応用 (特集 マイクロ・ナノモールディングを目指した金型加工技術)

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概要

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• プラスチック成形加工学会の論文

著者

• 打矢 直之

  芝浦工業大学大学院 工学研究科

• 古田 祐介

  芝浦工業大学大学院 工学研究科

• 西川 宏之

  芝浦工大 工

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