シロキサンのイオン照射改質と微細素子形成

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概要

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• 芝浦工業大学連携推進部の論文

著者

• 神谷 富裕

  原子力機構高崎量子応用研究所

• 西川 宏之

  芝浦工大 工

• 西川 宏之

  芝浦工業大学

• 西川 宏之

  芝浦工大

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