1A2-H07 ビームスキャンとステージ移動を併用した集束プロトンビーム描画システムの検討(MEMSとナノテクノロジー)

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概要

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• We report the micro fabrication system using Proton Beam Writing for micro chemical chip. The fabrication system utilizes the XY stage control and beam scan base on CAD data. The XY stage control enables this system to spread the fabrication area with centimeter order. Moreover, the method of calculating the scan pattern from general CAD data enables this system to fabricate various shapes. The experimental results demonstrate the centimeter structure which included 121 micro arrays whose diameter is 6 micrometer. This fabrication system using PBW is useful for the micro chemical chip fabrication.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2011-05-26

著者

• 西川 宏之

  芝浦工大

• ングエンチョン フィー

  芝浦工大

• 長谷川 忠大

  芝浦工大

• 手島 良

  芝浦工大

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