ングエンチョン フィー | 芝浦工大

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概要

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関連著者

• 西川 宏之

  芝浦工大

• ングエンチョン フィー

  芝浦工大

• 長谷川 忠大

  芝浦工大

• 手島 良

  芝浦工大

• 西川 宏之

  芝浦工大 工

著作論文

• 2A1-G28 集束プロトンビーム描画を利用した微細加エシステムの提案
• 1A2-H07 ビームスキャンとステージ移動を併用した集束プロトンビーム描画システムの検討(MEMSとナノテクノロジー)

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