二段加速レンズを用いたガスイオンナノビームの形成 (特集 分析及び微細加工へのイオンマイクロ・ナノビームの応用)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 放射線利用振興協会の論文

著者

• 大久保 猛

  原子力機構

• 石井 保行

  原子力機構

関連論文

• 21pBF-4 300kV小型ガスイオンナノビーム形成装置のレンズ系開発(21pBF ビームダイナミクス・数値計算・電子顕微鏡・線形加速器・ビーム源・ビーム診断,ビーム物理領域)
• 集束プロトンビーム描画による微細加工と型加工への応用
• プロトンビーム描画による波長1.5μm帯用シングルモードPMMA導波路(光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
• 24aZG-4 小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置のための加速レンズ系の設計(24aZG ビーム制御,イオン加速器,レーザープラズマ相互作用,ビーム物理領域)
• 小型高エネルギー集束イオンビーム形成装置開発に向けた取り組み
• 27pZB-6 ガスイオンナノビーム形成のための加速レンズ系収差制御(27pZB ビームダイナミクス・数値計算・ビーム制御,ビーム物理領域)
• 二段加速レンズを用いたガスイオンナノビームの形成 (特集 分析及び微細加工へのイオンマイクロ・ナノビームの応用)
• 24aZG-3 加速レンズによるナノサイズヘのガスイオンビーム集束のための無収差化技術の開発(24aZG ビーム制御,イオン加速器,レーザープラズマ相互作用,ビーム物理領域)
• プロトンビーム描画による光導波路デバイス形成の基礎検討(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
• イオンマイクロビームの現状と課題

スポンサーリンク