変形マグネトロン高周波放電による大面積プラズマの生成
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概要
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- 1996-11-27
著者
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佐藤 徳芳
東北大学
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佐藤 徳芳
東北大学工学部電磁工学講座
-
李 雲龍
国際電気
-
李 雲龍
東北大学工学部電子工学科
-
飯塚 哲
東北大学工学部電子工学科
-
飯塚 哲
東北大学工学部
-
佐藤 徳芳
東北大学工学部
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