MOCVD法によるIn_2O_3薄膜の作製

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概要

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• 2003-11-28

著者

• 吉澤 秀治

  明星大学アジア環境研究センター

• 毛塚 博史

  東京工科大

• 吉澤 秀治

  明星大学

• 吉澤 秀治

  明星大理工

• 藤本 祐一

  明星大学

• 田中 勉

  明星大学

• 田崎 雄三

  (株)豊島製作所

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