Flow Energy Control of Nitrogen Ions Generated by Electron Cyclotron Resonance

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概要

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• Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
• 2006-10-30

著者

• TAKAHASHI Kazunori

  Department of Electrical and Electronic Engineering, Iwate University

• Kaneko Tetsuyuki

  Department Of Material Physics Faculty Of Engineering Science Osaka University

• KANEKO Toshiro

  Department of Electronic Engineering, Tohoku University

• HATAKEYAMA Rikizo

  Department of Electronic Engineering, Tohoku University

• 高橋 和貴

  東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻

• 金子 俊郎

  東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻

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