24aB04P 高気圧PECVD法によるシリコンクラスター形成(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2004-11-20
著者
-
金子 俊郎
東北大院工
-
平田 孝道
都市大
-
Kaneko Tetsuyuki
Department Of Material Physics Faculty Of Engineering Science Osaka University
-
Kanomata T
Tohoku Univ. Sendai
-
高谷 広徳
東北大・院・工
-
平田 孝道
東北大・院・工
-
金子 俊郎
東北大・院・工
-
畠山 力三
東北大・院・工
-
金子 俊郎
東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
-
Kanomata Takeshi
The Research Institute For Iron Steel And Metals Tohoku University
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