Effects of Ion Energy Control on Production of Nitrogen-C_<60> Compounds by Ion Implantation

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概要

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• Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
• 2006-10-30

著者

• 平田 孝道

  都市大

• Kaneko Tetsuyuki

  Department Of Material Physics Faculty Of Engineering Science Osaka University

• ABE Shigeyuki

  Department of Electronic Engineering, Tohoku University

• SATO Genta

  Japan Science and Technology Agency

• KANEKO Toshiro

  Department of Electronic Engineering, Tohoku University

• HIRATA Takamichi

  Department of Electronics and Communication Engineering, Musashi Institute of Technology

• HATAKEYAMA Rikizo

  Department of Electronic Engineering, Tohoku University

• YOKOO Kuniyoshi

  Ideal Star Inc.

• ONO Shoichi

  Ideal Star Inc.

• OMOTE Kenji

  Ideal Star Inc.

• KASAMA Yasuhiko

  Ideal Star Inc.

• 金子 俊郎

  東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻

• Abe Shigeyuki

  Department Of Electronic Engineering Tohoku University

• Hatakeyama Rikizo

  Department Of Electronic Engineering Tohoku University

• Hirata Takamichi

  Department Of Electronics And Communication Engineering Musashi Institute Of Technology

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