Time Evolution of Nucleation and Vertical Growth of Carbon Nanotubes during Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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概要
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- Japan Society of Applied Physicsの論文
- 2003-11-01
著者
-
平田 孝道
都市大
-
HIRATA Takamichi
Department of Electronics and Communication Engineering, Musashi Institute of Technology
-
HATAKEYAMA Rikizo
Department of Electronic Engineering, Tohoku University
-
KATO Toshiaki
Department of Electronic Engineering, Tohoku University
-
JEONG Goo-Hwan
Department of Electronic Engineering, Tohoku University
-
SATAKE Nobuhiko
Department of Electronic Engineering, Tohoku University
-
TOHJI Kazuyuki
Department of Geoscience and Technology, Tohoku University
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