スパイラルグルーブ空気軸受のマイクロ化
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概要
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- 1998-02-17
著者
-
武田 宗久
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
太田 斎
三菱電機(株)
-
武田 宗久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
松川 公映
三菱電機 (株) 中央研究所
-
太田 斎
三菱電機 中研
-
小原 隆雄
三菱電機(株)
-
成宮 宏
三菱電機
-
武田 宗久
三菱電機
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