121 マイクロモータ
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概要
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Fabrication process of micro electro magnetic motor has been developed. Multi-layered coils and flexible wiring patterns are formed on a silicon substrate using the semiconductor processing technique. After coils are made, the substrate is removed by etching from the reverse side to obtain a sheet on which multi-layered coils have been formed. Core pieces are made by wire-cut electric discharge machining, and the flexible sheet with coils is wound around core pieces. A 2-pole magnetized permanent magnet is separately fabricated as a rotor Using this process, a prototype micro-motor 1.6 mm in diameter was fabricated and the output power of 3.2×(10)^<-7> Nm was obtained.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-03-24
著者
-
武田 宗久
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
太田 斎
三菱電機(株)
-
武田 宗久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
荒木 健
三菱電機
-
荒木 健
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
太田 斎
三菱電機 中研
-
小原 隆雄
三菱電機(株)
-
武田 宗久
三菱電機
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