UHV-CVDによるエピタキシャルSiのMOSFETソース・ドレインへの適用
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概要
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- 1998-12-03
著者
-
西岡 康隆
三菱電機(株)LSI研究所
-
徳田 安紀
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
古川 泰助
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
西岡 康隆
三菱電機(株)
-
山川 聡
三菱電機(株)
-
古川 泰助
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
杉原 浩平
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
中畑 匠
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
丸野 茂光
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
徳田 安紀
三菱電機 先端技術総合研
-
丸野 茂光
三菱電機株式会社先端総研
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