Analysis of Leakage Current of Low-k Materials for Use as Interlayer Dielectric
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2004-01-15
著者
-
Fukuda T
Tohoku Univ.
-
FUKUDA Takuya
Association of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET)
-
NISHINO Hirotaka
Association of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET)
-
YANAZAWA Hiroshi
Association of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET)
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