アモノサーマル法による窒化ガリウム単結晶育成(<特集>高圧力下での結晶成長)
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概要
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高温高圧の超臨界アンモニア流体を溶媒とするアモノサーマル法は,量産可能な高品質バルク窒化ガリウム(GaN)育成技術として注目されている.特に,近年,複数の研究機関からアモノサーマル法によるバルクGaN結晶作製が報告され,実用化への期待が高まりつつある.そこで,アモノサーマル法GaN育成技術について,要素技術および国内外の開発状況について紹介するとともに,最近の東北大学の成果について報告する.
著者
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福田 承生
東北大学 多元物質科学研究所
-
横山 千昭
東北大学多元物質科学研究所
-
鏡谷 勇二
東北大学多元物質科学研究所
-
横山 千昭
東北大多元研
-
石黒 徹
東北大学多元物質科学研究所
-
Fukuda T
Gunma Univ. Gunma Jpn
-
Fukuda T
Waseda Univ. Tokyo Jpn
-
Fukuda T
Tohoku Univ.
-
Fukuda Tsuguo
Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials (imram) Tohoku University
-
Fukuda Tsuguo
Optoelectronics Joint-research Laboratory
-
Fukuda T
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. Hokkaido Center Sapporo Jpn
-
石黒 徹
東北大多元研
-
Fukuda Tsuguo
Institute Of Multidisciplinary Research For Advanced Materials Tohoku University
-
Fukuda T
Matsushita Communication Industrial Co. Ltd. Yokohama Jpn
-
福田 承生
東北大学原子分子材料学高等研究機構
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