Analysis of Leakage Current in Cu/SiO_2/Si/Al Capacitors under Bias-Temperature Stress
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2003-10-15
著者
-
Fukuda T
Waseda Univ. Tokyo Jpn
-
Fukuda T
Tohoku Univ.
-
Fukuda T
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. Hokkaido Center Sapporo Jpn
-
NISHINO Hirotaka
Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,
-
FUKUDA Takuya
Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,
-
YANAZAWA Hiroshi
Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,
-
MATSUNAGA Hironori
Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,
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