Analysis of Leakage Current in Cu/SiO_2/Si/Al Capacitors under Bias-Temperature Stress

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概要

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• Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
• 2003-10-15

著者

• Fukuda T

  Waseda Univ. Tokyo Jpn

• Fukuda T

  Tohoku Univ.

• Fukuda T

  National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. Hokkaido Center Sapporo Jpn

• NISHINO Hirotaka

  Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,

• FUKUDA Takuya

  Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,

• YANAZAWA Hiroshi

  Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,

• MATSUNAGA Hironori

  Environmentally Benign Process Technology Laboratory, Semiconductor Technology Research Department,

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