ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用
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概要
著者
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河合 良信
九州大学大学院総合理工学研究院
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竹内 良昭
三菱重工業株式会社
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村田 正義
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所
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真島 浩
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所
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竹内 良昭
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所
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村田 正義
三菱重工業 長崎研
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真島 浩
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所プラズマ・光技術研究室
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竹内 良昭
三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット
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河合 良信
九州大学大学院総合理工学研究科
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村田 正義
三菱重工業 (株)
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