真島 浩 | 三菱重工業(株)技術本部長崎研究所プラズマ・光技術研究室

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関連著者

• 竹内 良昭

  三菱重工業株式会社

• 真島 浩

  三菱重工業(株)技術本部長崎研究所

• 竹内 良昭

  三菱重工業(株)技術本部長崎研究所

• 真島 浩

  三菱重工業(株)技術本部長崎研究所プラズマ・光技術研究室

• 竹内 良昭

  三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット

• 河合 良信

  九州大学大学院総合理工学研究院

• 高塚 汎

  三菱重工

• 高塚 汎

  三菱重工業(株)原動機事業本部原動機技術センター新製品開発部

• 山内 康弘

  三菱重工

• 山内 康弘

  三菱重工業株式会社

• 村田 正義

  三菱重工業(株)技術本部長崎研究所

• 村田 正義

  三菱重工業 長崎研

• 高塚 汎

  三菱重工業

• 山内 康弘

  三菱重工業(株)技術本部長崎研究所

• 西宮 立享

  三菱重工業(株)技術本部長崎研究所プラズマ・光技術研究室

• 大坪 栄一郎

  三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット

• 山内 康弘

  三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット

• 山内 康弘

  三菱重工業(株) 原動機事業本部 太陽電池部

• 河合 良信

  九州大学大学院総合理工学研究科

• 村田 正義

  三菱重工業 (株)

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著作論文

• ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用
• 3.超高周波を用いた大面積プラズマCVDの開発と薄膜シリコン太陽電池への応用(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)

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