竹内 良昭 | 三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット
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概要
関連著者
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竹内 良昭
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所
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竹内 良昭
三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット
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竹内 良昭
三菱重工業株式会社
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高塚 汎
三菱重工
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山内 康弘
三菱重工
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山内 康弘
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所
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高塚 汎
三菱重工業(株)原動機事業本部原動機技術センター新製品開発部
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山内 康弘
三菱重工業株式会社
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高塚 汎
三菱重工業
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山内 康弘
三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット
著作論文
- バラン給電法によるVHFプラズマの特性
- 超音速不足噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα/μc-Si:H膜成長
- ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用
- 2614 高効率微結晶タンデム太陽電池量産化への取り組み(G08 動力エネルギーシステム,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- OS2-18 太陽電池製膜用高生産性プラズマCVD装置の開発(OS2 自然エネルギー,循環型社会における動力エネルギー技術)
- レーザ計測の燃焼, 流れ, プラズマ場への応用
- 3.超高周波を用いた大面積プラズマCVDの開発と薄膜シリコン太陽電池への応用(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)