3.超高周波を用いた大面積プラズマCVDの開発と薄膜シリコン太陽電池への応用(<小特集>実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)

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概要

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電極の両端から供給する超高周波電力の位相を変調する方法により, 世界で初めて60MHzの超高周波で1m^2を超える大面積プラズマ生成に成功した.CVD装置のプラズマ源として薄膜シリコン太陽電池の製造に適用し, 実生産で高い生産性を実証した.これらの結果について紹介する.
2011-01-25

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