バラン給電法によるVHFプラズマの特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-08-11
著者
-
牟田 浩司
岐阜大学
-
高塚 汎
三菱重工
-
高塚 汎
三菱重工業(株)原動機事業本部原動機技術センター新製品開発部
-
山内 康弘
三菱重工
-
西田 哲
岐阜大学
-
栗林 志頭眞
岐阜大学
-
竹内 良昭
三菱重工業株式会社
-
山内 康弘
三菱重工業株式会社
-
水野 健太
岐阜大学
-
松岡 正典
岐阜大学
-
竹内 良昭
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所
-
高塚 汎
三菱重工業
-
山内 康弘
三菱重工業(株)技術本部長崎研究所
-
山内 康弘
三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット
-
竹内 良昭
三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット
-
山内 康弘
三菱重工業(株) 原動機事業本部 太陽電池部
関連論文
- 半導体プロセス用高密度プラズマ源の開発(トピックス)
- 燃料電池複合発電技術の開発
- バラン給電法によるVHFプラズマの特性
- 超音速不足噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα/μc-Si:H膜成長
- ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用
- 大面積・高効率タンデム太陽電池について (マテリアルフォーカス:エネルギー シリコンの使用量を抑える薄膜太陽電池の実力は? 太陽電池の技術トレンド--マテリアル,モジュール,プロセス,マーケットなど(1))
- 高効率微結晶タンデム型太陽電池の量産化への取組み (地球温暖化対策特集)
- 微結晶タンデム太陽電池の開発 (発電技術特集)
- 三菱重工の高効率大面積太陽電池 (未来を拓く発電技術特集)
- PEFC(固体高分子形燃料電池)の開発状況
- 28p-Y1-11 リジターノコイルによる大直径プラズマの生成
- 高速流動層の形成と重力方向粒子濃度分布 : 第2報,高速流動層の拡散性
- 2614 高効率微結晶タンデム太陽電池量産化への取り組み(G08 動力エネルギーシステム,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- OS2-18 太陽電池製膜用高生産性プラズマCVD装置の開発(OS2 自然エネルギー,循環型社会における動力エネルギー技術)
- 微結晶タンデム型太陽電池の開発
- 低コストアモルファスシリコン太陽電池の開発 (特集 技術論文)
- レーザ計測の燃焼, 流れ, プラズマ場への応用
- 太陽光発電システム
- 高速流動層の形成と重力方向粒子濃度分布 : 第1報,高速流動層形成範囲
- 3.超高周波を用いた大面積プラズマCVDの開発と薄膜シリコン太陽電池への応用(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)
- 石炭ガス化複合発電の開発(高効率化への挑戦)
- 再生可能エネルギー利用の概要(再生可能な自然エネルギー利用の現状)
- Preliminary Study on Decomposition of Cost Efficiency in Japan's Regional Long-term Care Provision