5p-C4-5 リジターノコイルによる成膜実験

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1988-09-16

著者

• 長谷崎 和洋

  九大 大学院 総合理工学研究科

• 中島 寿年

  九大応力研:九大総理工

• 河合 良信

  九大・総理工

• 村田 正義

  三菱重工業(株)技術本部長崎研究所

• 長谷崎 和洋

  九大・総理工

• 村田 正義

  三菱重工・長研

• 内田 聡

  三菱重工・長船

• 中島 寿年

  九大・応力研

• 小森 彰夫

  九大・総理工

• 村田 正義

  三菱重工業 長崎研

• Komori A

  National Inst. Fusion Sciences Nagoya‐shi Jpn

• 河合 良信

  Kyushu Univ. Fukuoka

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