半導体プロセス・デバイス・回路のモデリングとシミュレーション
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概要
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- 2002-06-10
著者
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羽根 正巳
日本電気株式会社シリコンシステム研究所
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羽根 正巳
「応用物理」編集委員会
-
小谷 教彦
半導体理工学研究センター
-
羽根 正巳
日本電気(株)NECラボラトリーズシステムデバイス・基礎研究本部シリコンシステム研究所
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