半導体デバイス微細化スケーリング路線の転換期

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概要

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• 2003-09-10

著者

• 金田 千穂子

  「応用物理」編集委員会

• 土屋 敏章

  「応用物理」編集委員会

• 羽根 正巳

  「応用物理」編集委員会

• 土屋 敏章

  島根大総理工

• 福山 正雄

  「応用物理」編集委員会

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