HD-2000のプローブ径と観察および分析性能
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-05-01
著者
-
砂子沢 成人
日立・計測器グループ
-
砂子沢 成人
株式会社日立ハイテクノロジーズ那珂事業所
-
矢口 紀恵
日立サイエンスシステムズ
-
今野 充
日立サイエンスシステムズ
-
橋本 隆仁
日立・計測器グループ
-
橋本 隆仁
日立製作所計測器グループ
-
矢口 紀恵
日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所
-
橋本 隆仁
日立ハイテクノロジーズ
-
橋本 隆仁
株式会社日立ハイテクノロジーズ
-
橋本 隆仁
(株)日立ハイテクノロジーズ ナノテクノロジー製品事業本部 那珂事業所 先端解析システム設計部
-
上野 武夫
日立サイエンスシステムズ
-
上野 武夫
山梨大学 燃料電池ナノ材料研究センター
-
上野 武夫
日立サイエンスシステム テクノリサーチラボ
-
今野 充
日立ハイテクノロジーズ
-
上野 武夫
日立サイエンスシステム
関連論文
- STEMを用いた軽元素分布像観察法の検討
- 実時間元素分布写像システムの開発
- 走査透過像観察装置(HD-2000)による軽元素分布の観察
- 走査透過型電顕(HD-2000)によるスペクトルイメージング
- 走査透過電子顕微鏡の球面収差補正とその応用
- STEMにおけるデジタル画像
- 200kVのSE像によるバルク試料の断面観察
- HD-2000形超薄膜評価装置の開発
- 電子顕微鏡のTV撮像技術(2) : アバランシェ増倍型撮像管を用いる方式の検討
- 高加速STEM/SEM情報の有効活用
- HAADF-STEM像コントラスト解釈のための基礎検討
- HD-2000のプローブ径と観察および分析性能
- Ni基単結晶超合金高温クリープ試料のFIB/TEM評価
- 3次元電子顕微鏡の開発
- ナノ構造GaNの高さ・密度制御とその反射防止・透過向上特性(窒化物及び混晶半導体デバイス)
- ナノ構造GaNの高さ・密度制御とその反射防止・透過向上特性(窒化物及び混晶半導体デバイス)
- ナノ構造GaNの高さ・密度制御とその反射防止・透過向上特性
- ナノ構造材料解析のための前処理および観察技術
- FIBを用いたナノテク材料のピンポイント解析
- FIBマイクロピラー試料による三次元構造解析
- FIB-TEMシステムの金属材料への応用
- 集束イオンビ-ム加工法で作製した材料の透過電子顕微鏡による観察 (電子・イオン技術を用いた表面観察・分析の新展開)
- SiO_2膜中のSiナノ結晶成長の高分解能その場観察
- Cu(Ti)合金微細配線における極薄バリア層の自己組織形成
- 二軸傾斜試料加熱装置の改良とその金属材料高温観察への応用
- 金属材料析出過程の高温その場観察とEELS分析
- Best Shot写真でひもとく未来材料 イオンと電子を用いた三次元構造解析
- ガス導入機構付き試料加熱ホルダを用いたCr酸化膜成長過程その場観察
- FIB-STEMシステムによるSiデバイス3D元素分布像観察
- 高電圧SEMによるLSIデバイスの3次元観察
- Fe合金溶射皮膜の電子顕微鏡試料作製とその断面観察
- FIB法によるFe合金溶射皮膜の薄膜作製と断面観察
- シリコンの融解-凝固過程の電子顕微鏡その場観察(バルク成長分科会特集 : 結晶の完全性を目指して)
- FIB加工TEM試料の位置精度と分析精度に関する検討 (日本電子顕微鏡学会第43回シンポジウム論文集--21世紀へ向けての新技術の展開--平成10年10月28日(水)〜30日(金),千葉大学けやき会館〔含 著者名索引〕) -- (新しい試料作製技術)
- 三次元微細構造解析の新展開 (3D可視化技法の新展開)
- FIBマイクロサンプリング法による柱状試料の作製とその三次元元素分布像観察
- FIBを用いたソフトマテリアルの試料作製 (試料作製のノウハウ)
- 微細化・高集積化デバイス対応QTAT三次元ナノアナリシス技術 (特集1 ナノメートル時代の最先端半導体デバイスの量産を支えるベストソリューション)
- FIBマイクロサンプリングによる薄膜試料作製
- HD-2000超薄膜評価装置の電子回線折機能
- STEMによる元素分布観察
- 最近の装置開発と将来像
- 電子顕微鏡(すごーく小さいもの)
- プラズモンロス像を用いた高温における動的元素マッピング
- 透過電子顕微鏡および走査透過電子顕微鏡
- 収差補正STEMの特長 (電子顕微鏡・装置開発の将来を探る)
- メカニカルミリング処理SUS304L粉末焼結材の引張特性に及ぼす焼結条件の影響
- 透過電子顕微鏡(TEM)
- サブナノメートル領域の故障解析を実現する半導体デバイス評価システム (特集 最先端半導体デバイスの量産を支えるベストソリューション)
- 環境制御型透過電子顕微鏡の開発とその応用
- 環境制御型透過電子顕微鏡の開発とその応用
- 3D解析ホルダを用いたナノ材料の三次元構造・組成解析 (3D技法の最前線)
- S12-08 イトカワにおける宇宙風化(口頭セッション12:はやぶさ,口頭発表)
- 電池関連ナノ材料の電顕解析 (ありのままを観る)