シリコンの融解-凝固過程の電子顕微鏡その場観察(<小特集>バルク成長分科会特集 : 結晶の完全性を目指して)
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概要
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The melting and freezing processes of silicon were investigated by in-situ high resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and image processing. Atomic structures of (111) interface planes of the solid and liquid phases have been examined. It is revealed that the interface goes back and forth by the lateral motion of atomic steps on (111) planes as the temperature is changed. A transition region of about 1nm thickness is found to exist between the solid and liquid phases.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1998-12-15
著者
-
堀 史説
大阪府立大
-
堀 史説
阪府大先端研
-
上野 武夫
日立計測エンジニアリングテクノリサーチセンタ
-
矢口 紀恵
日立サイエンスシステムズ
-
矢口 紀恵
日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所
-
上野 武夫
山梨大学 燃料電池ナノ材料研究センター
-
大嶋 隆一郎
大阪ニュークリアサイエンス協会
-
大嶋 隆一郎
大阪府立大学先端科学研究所
-
大嶋 隆一郎
大阪大学基礎工学部
-
矢口 紀恵
日立計測エンジニアリング
-
上野 武夫
日立計測エンジニアリング
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