極清浄スパッタ成膜装置の試作とその基礎性能
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概要
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- 1995-09-01
著者
-
高橋 研
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
庄司 弘樹
三菱総合研 先端科研
-
島津 武仁
東北大 工
-
荘司 弘樹
東北大学 電子工学科
-
島津 武仁
東北大学 電気通信研究所
-
久慈 智子
東北大学
-
奥山 健太郎
東北大学
-
奥山 健太郎
東北大学工学部
-
久慈 智子
東北大学工学部
-
高橋 研
東北大学
-
島津 武仁
東北大学 学際科学国際高等研究センター
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