高周波マグネトロンスパッタリング法を用いたLa-Mn複合酸化物薄膜の作製と酸素センサ特性
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概要
著者
-
吉原 佐知雄
宇都宮大学大学院工学研究科エネルギー環境化学専攻
-
白樫 高史
宇都宮大学大学院工学研究科エネルギー環境化学専攻
-
松本 泰道
Department Of Applied Chemistry And Biochemistry Faculty Of Engineering Kumamoto University
-
佐藤 栄一
宇都宮大学工学部
-
松本 泰道
熊本大学工学部
-
吉原 佐知雄
宇都宮大学
-
山田 智
Department Of Aerospace Engineering School Of Science And Engineering Teikyo University
-
佐藤 栄一
宇都宮大学工学部応用化学科
-
白樫 高史
宇都宮大学 大学院工学研究科
-
白樫 高史
宇都宮大学大学院 工学研究科
-
稔野 宗次
帝京大学理工学部
-
堀 茂徳
帝京大学理工学部
-
稔野 宗次
帝京大学理工学部材料科学工学科
-
堀 茂徳
帝京大学理工学部材料科学工学科
-
倉富 純一
熊本大学工学部応用化学科
-
白樫 高史
宇都宮大学
-
山田 智
帝京大学理工学部材料科学工学科
-
本坊 寿吉
熊本大学工学部応用化学科
-
佐藤 栄一
宇都宮大学 工学部
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