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東京工業大学フロンティア研究機構 | 論文
- ラジカル窒化シリコン酸窒化膜における窒素プロファイルのX線光電子分光分析による評価
- 3-38.高含水バイオマスの中圧水蒸気による燃料化((10)水熱等1,Session 3 バイオマス等)
- 鶏糞を燃料とする小型ガス化発電システムの実証研究(バイオマス利用への機械工学的アプローチ-前処理技術から(バイオマス利用への機械工学的アプローチ-前処理技術から廃棄物発電まで-(2),バイオマス利用への着小合工学的アプローチ-前処理技術から廃棄物発電まで-)
- 3-35.牛糞を用いた熱分解ガス化発電システムに関する研究((11)ガス化III,Session 3 バイオマス等)
- 循環流動層の流動媒体の違いがバイオマスガス化時のガス生成特性・タール排出量に及ぼす影響 : 活性アルミナ粒子によるタール排出量低減効果
- SiナノワイヤMOSFETのコンパクト・モデル : バリスティックおよび準バリスティック輸送(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
- SiナノワイヤへのNiシリサイド形成と過剰な侵入とその抑制に関する検討(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
- キャリア移動度評価によるシリコンナノワイヤトランジスタの電気特性解析(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
- 直接窒化膜特性のシリコン結晶面密度依存性
- EOT=0.5nmに向けた希土類MOSデバイスの高温短時間熱処理の検討(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
- 極薄シリコン酸窒化膜の種々の結合形態にある窒素原子の深さ方向分布(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)
- プラズマ窒化によるシリコン酸窒化膜のX線光電子分光(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
- 酸化物TFTの最近の動向と展望 (特集 FPD・太陽電池の動向と展望)
- XPS時間依存測定法によるHfAlOx薄膜中の電荷捕獲現象の評価(ゲート絶縁膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- 酸素ラジカルを用いて形成したSiO_2/Si界面における組成遷移と価電子帯オフセットの基板面方位依存性(プロセス科学と新プロセス技術)
- 木質系バイオマスの高温空気吹きガス化および発電特性(熱工学,内燃機関,動力など)
- 原子スケールで平坦なSiO_2/Si酸化膜界面歪の評価(プロセス科学と新プロセス技術)
- 3-2-2 SOFC燃料ガス中タール分によるNi/ScSZサーメットアノードの劣化挙動(3-2 ガス化2,Session 3 バイオマス等,研究発表)
- ガスダイナミックレーザ用低圧ディフューザの空力特性
- 3-2-1 バイオマスガス化プロセスにおけるスクラバーを用いたタールの低減に関する研究(3-2 ガス化2,Session 3 バイオマス等,研究発表)
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